[헤럴드POP=이나선 인턴기자]압력식 질량유량제어기 신기술 개발에도 나서…총 10억 투자 계획

국내 반도체용 MFC(Mass Flow Controller, 질량유량제어기) 생산시장은 그동안 전량 수입에만 의존해 왔다. 몇 안되는 국내업체들이 아날로그 방식의 제품만을 생산해왔기 때문이다.

이러한 국내 질량유량제어기 시장에 대변화의 바람을 몰고 온 기업은 바로 ‘엠케이프리시젼㈜’이다.

엠케이프리시젼은 지난 2000년부터 MFC(질량유량제어기)와 MFM(질량유량계) 국산화를 위해 연구개발을 꾸준히 진행해 온 결과, 순수 국내기술로 반도체용 MFC 기술을 개발해냈다.

이는 반도체용 MFC기술에 목말라 있던 기업들에게는 희소식이었다. 기업들은 국내 최초 반도체용 MFC 기술을 납품 받기 시작했으며, 개발사 엠케이프리시젼은 삼성전자 반도체 공정 장비에 장착될 수 있는 자격을 얻기도 했다.

그로 인해 당연히 매출은 급증했다. 지난 2011년부터 본격적인 반도체용 MFC를 납품한 엠케이프리시젼은 2014년엔 89.8%의 놀라운 매출 신장률을 기록했다. 올해 목표인 120억 매출 목표도 1/4분기에 이미 30억을 돌파하며 무난히 이뤄낼 것이란 전망이 나오고 있다.

PI-MFC(MARU7000PI), 삼성전자 Common Spec. 등록 모델. 엠케이프리시젼㈜ 제공.
PI-MFC(MARU7000PI), 삼성전자 Common Spec. 등록 모델. 엠케이프리시젼㈜ 제공.

엠케이프리시젼 관계자는 "그 동안 국내 질량유량제어기 시장에서는 기술 부족으로 해외제품만을 수입해 사용할 수 밖에 없었다"라며, "국내에서 질량유량제어기에 대한 수요가 있을 것으로 예상하고 꾸준히 개발에 매진한 결과, 높은 기술력을 갖춘 반도체용 MFC를 개발할 수 있었다"라고 전했다.

한편 상해에 중국법인을 설립하며 해외시장 공략에도 나선 엠케이프리시젼은 지난 2013년도부터 삼성전자 시안 공장에서 가동 중인 장비에 다량의 MFC를 공급하였으며, 사후 관리를 위한 사무소를 시안에 설치함으로써 대량생산에 성공한 3차원 수직구조 낸드(3D Vertical NAND)플래시 메모리 생산장비에 대응하였다.

또한 엠케이프리시젼은 축적된 질량유량센서 및 내부식성 핵심부품 가공기술과 정밀 질량유량 교정 및 Leak Detection 기술을 바탕으로, 국내 기술부족으로 전량 수입에 의존하고 있는 압력식 질량유량제어기(Pressure Sensor Mass Flow Controller, PS-MFC)를 개발 중에 있다. 오는 2017년 출시목표로 개발을 진행하고 있으며, 총 10억 원(중소기업청 4.5억 원, 당사 5.5억 원)의 연구개발비용을 투자할 계획이다.


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